BREVA六自由度定位平台经过专门设计,可提供高角度精度。 它允许以 0.5 µm 或 2.5 µrad 的分辨率对样品、探针或传感器等物体进行角度定位。
BREVA六自由度平台可用于任何方向:垂直、水平、倒置……
BREVA精密定位六自由度平台产品特点:采用绝对值无刷伺服电机,最大负载500KG,分辨率1.5urad,重复定位精度0.5um。
BREVA hexapod has been specially designed to provide high angular accuracy. It allows angular positioning of objects like samples, probes or sensors with a resolution of 0.5 µm or 2.5 µrad.
BREVA hexapod can be used in any orientation: vertical, horizontal, upside down…